質量流量計實物圖:
下圖:熱式質量流量計顯示表:
熱式質量流量計性能特點:
●量程:5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM
●準確度:±1%F.S
●線性度:±0.5~1% F.S
●重復精度:±0.2% F.S
●響應時間:10S
●氣壓降: <0.01MP
●最大壓力:10MP
●工作環境溫度: 5~45℃
●輸出信號:0~+5.00V
●電源:+15V 50mA -15V 200mA
●外形尺寸:158.7*60*198,161.7*60*198可選
●重量:2.5 Kg
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